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硅外延片測試

原創發布者:北檢院    發布時間:2022-06-14     點擊數:

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注意:因業務調整,暫不接受個人委托測試望見諒。

測試樣品:硅外延片

測試項目

成分分析,含量測試,電阻率測試,表面金屬,晶體完整性,指標測試等。

測試周期:7-15個工作日,試驗可加急

硅外延片測試

測試標準

GB/T1550 非本征半導體材料導電類型測試方法

GB/T1555 半導體單晶晶向測定方法

GB/T2828.1-2012 計數抽樣檢驗程序第1部分:按接收質量限(AQL)檢索的逐批檢驗抽樣

GB/T6617 硅片電阻率測定擴展電阻探針法

GB/T6624 硅拋光片表面質量目測檢驗方法

GB/T12964 硅單晶拋光片

GB/T13389 摻硼摻磷摻砷硅單晶電阻率與摻雜劑濃度換算規程

GB/T14141 硅外延層、擴展層和離子注入層薄層電阻的測定直排四探針法

GB/T14142 硅外延層晶體完整性檢驗方法腐蝕法

GB/T14146 硅外延層載流子濃度測定汞探針電容-電壓法

GB/T14264 半導體材料術語

GB/T14844 半導體材料牌號表示方法

GB/T14847 重摻雜襯底上輕摻雜硅外延層厚度的紅外反射測量方法

GB/T19921 硅拋光片表面顆粒測試方法

GB/T24578 硅片表面金屬沾污的全反射X光熒光光譜測試方法

YS/T28 硅片包裝

實驗儀器

實驗室儀器 實驗室儀器 實驗室儀器 實驗室儀器

測試流程

硅外延片測試流程

注意事項

1.具體的試驗周期以工程師告知的為準。

2.文章中的圖片或者標準以及具體的試驗方案僅供參考,因為每個樣品和項目都有所不同,所以最終以工程師告知的為準。

3.關于(樣品量)的需求,最好是先咨詢我們的工程師確定,避免不必要的樣品損失。

4.加急試驗周期一般是五個工作日左右,部分樣品有所差異

5.如果對于(硅外延片測試)還有什么疑問,可以咨詢我們的工程師為您一一解答。

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  • 定制方案 提供非標定制試驗方案
  • 保密協議 簽訂保密協議,嚴格保護客戶隱私
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